SEM和AFM都可以掃描出薄膜相似的圖像

對于多數薄膜SEM 和AFM 都可以掃描出相似的圖像,它們一個共同的應用就是觀測隨著沉積參數的變化(例如溫度、壓力、時間等)而引起的形態變化。許多樣品用SEM和AFM 都可以掃描出相似的表面結構的圖像。然而,對于這個試樣上可以獲得的其他信息,SEM 和AFM 是不同的,AFM 可以將測量到的試樣X、Y、Z 三個方向的特征,用于計算樣品凹凸的變化以及由于沉積參數的不同試樣表面面積的變化。對于SEM,一次可以在比較大的視域內(幾毫米)采集到表面結構的變化,而AFM 最多可以觀察到100μm×100μm 范圍內的變化。另外,利用兩種不同的技術采集到的圖像在高度上的解釋稍有不同。在SEM 圖像,由于電荷在斜面會增加電子在試樣表面的發射,所以表現在圖像上會產生更高的強度,然而有時很難確定它是向上傾斜還是向下傾斜。而AFM 的測量數據包含了高度的信息,因此可以直截了當地確定掃描部分是凸起還是下凹。