如何探測電子？

如何探測電子？
上文所提到的兩種電子分別由不同種類的探測器探測。探測 BSE 時，固態探測器位于樣品正上方，并環繞電子束分布，這樣可以收集到zui大量的 BSE。另一方面，探測 SE 時，主要是用 E-T 探測器。它有一個內置于法拉第圓筒的閃爍體，圓筒帶正電可以吸引 SE。閃爍體用以加速電子，并把它們轉換為光子。之后，這些光子會進入光電倍增管，并得到進一步放大。SE 探測器以一定傾角放置于電子腔室的側面，這樣可以提高 SE 的探測效率。這些 SE 可以用來生成樣品的 3D 圖像，并展示在電腦的顯示器上。