掃描電鏡成象襯度特點

掃描電鏡成象襯度特點
  二次電子的象襯度與試樣表面的幾何狀態有關，二次電子的探測具有無影效應背散射電子特點背散射電子是指入射電子與試樣相互作用(彈性和非彈性散射)之后，再次逸出試樣表面的高能電子，其能量接近于入射電子能量( e。)。背散射電子的產額隨試樣的原子序數增大而增加，iμz2/3-3/4。所以，背散射電子信號的強度與試樣的化學組成有關，即與組成試樣的各元素平均原子序數有關。分辨率不如二次電子象，有較強的陰影效應，圖象有浮雕感。
  三、sem的主要特點
  1、放大倍率高
  可從幾十倍放大到幾十萬倍，連續可調。觀察樣品極為方便。
  2、分辨率高
  分辨率是指能分辨的兩點之間的zui小距離。sem是用電子束照射試樣，目前用w燈絲的sem，分辨率已達到3nm-6nm, 場發射源sem分辨率可達到1nm 。
  儀器的分辨率指標不是日常工作能實現的。拍攝分辨率照片是用碳鍍金的特殊試樣，拍照時規定一些特殊條件，如放大倍率、電子束電流、加速電壓等，有時要晚上沒有任何振動和干擾情況下進行多次拍照，尋找zui好的圖像測量分辨率。
  3、景深大
  景深大的圖像立體感強，對粗糙不平的斷口試樣觀察需要大景深。一般情況下，sem景深比tem大10倍，比光學顯微鏡（om）大100倍。如10000倍時,tem 的δf＝1?m，sem的δf＝10?m； 100倍時，om的δf＝10?m，sem的δf=1000?m。
  4、保真度好
  試樣通常不需要作任何處理即可以直接進行形貌觀察，所以不會由于制樣原因而產生假象。這對斷口的失效分析及貴重試樣的分析特別重要。
  5、試樣制備簡單
  試樣可以是自然面、斷口、塊狀、粉體、反光及透光光片，對不導電的試樣只需蒸鍍一層10nm左右的導電膜。
  另外，現在許多sem具有圖像處理和圖像分析功能。有的sem加入附件后，能進行加熱、冷卻、拉伸及彎曲等動態過程的觀察。