崔紹暉，符庭釗，王歡，夏洋，李超波
1． 中國科學院 微電子研究所，北京 100029；
2． 中國科學院大學，北京 100049；
3． 集成電路測試技術北京市重點實驗室，北京 100088
摘要: 為了實現低成本高靈敏度的表面增強拉曼散射效應，制備了一種基于硅表面納米結構的表面增強拉曼散射效應(SERS)襯底。首先利用低能反應離子注入的方法對單晶硅進行表面處理，制作高陡值度的墻壁結構。然后采用電子束蒸發的方式在硅片表面蒸鍍銀膜，高密度的銀納米點陣列出現在側壁表面，形成大量的熱點。實驗采用羅丹明6G(R6G)作為探針分子進行表征，發現獲得最強拉曼信號的銀膜厚度為40nm，R6G的探測極限能達到 10 －14 mol/L；同時分析襯底的重復性和穩定性，發現在614 cm－1和1 650 cm－1處的拉曼信號特征峰的相對標準偏差分別達到12．3%和14．3%，保存一個月的襯底測得的拉曼信號強度保持不變。本研究提供了一種操作簡單、成本低的制備高靈敏度增強拉曼效應襯底的方法，制備的襯底具有高信號可重復性和高穩定性的優點。
關鍵詞: 表面增強拉曼散射效應； 反應離子注入； 銀納米點； 電子束蒸發； 低成本
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