碳硅分析儀的維護主要分三個方面來介紹：
一、碳硅分析儀屬金屬機械類儀器，溫度和濕度是影響這類儀器性能的重要因素。它們會引起碳硅分析儀相關機械部件的銹蝕，并使金屬鏡面的光潔度下降，光學部件銹蝕，導致儀器機械部分的誤差或性能下降以及產生光能不足、雜散光、噪聲等問題，嚴重的話還會影響到儀器壽命和正常的使用。
解決方案：為企業配備相應的恒溫恒濕實驗室。
二、碳硅分析儀所處的環境很重要，空氣中的塵埃和腐蝕性氣體同樣會影響機械系統的靈活性、降低各種限位開關、按鍵、光電偶合器的可靠性，也是造成光學部件銹蝕的原因之一。
解決方案：定期清潔，做好防塵工作，保障碳硅分析儀所處環境和衛生條件。
三、碳硅分析儀在長時間使用之后，內部會積累一定量的塵埃，會影響到儀器的使用。
解決方案：定期拆開碳硅分析儀對內部進行除塵工作，并對內部的機械部件潤滑，保持內部清潔，完成后再進行檢測、調校與記錄。