當高頻發生器接通電源后,高頻電流I通過感應線圈產生交變磁場(橙色)。
開始時,管內為Ar氣,不導電,需要用高壓電火花觸發,使氣體電離后,在高頻交流電場的作用下,帶電粒子高速運動,碰撞,形成“雪崩”式放電,產生等離子體氣流。在垂直于磁場方向將產生感應電流(渦電流,蘭色),其電阻很小,電流很大(數百安),產生高溫。又將氣體加熱、電離,在管口形成穩定的等離子體焰炬。
在由三個同心石英管外套裝一個高頻感應線圈,感應線圈與高頻發生器連接。