X熒光光譜儀的優勢
1、 分析速度快。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
2、X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。(氣體密封在容器內也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線范圍內，這種效應更為顯著。波長變化用于化學位的測定 。
3、非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。
4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。
5、分析精密度高。
6、制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
X熒光光譜儀在RoHS檢測上的應用
目前，許多電子電氣企業基本采用以下兩種方法解決產品的RoHS檢測：一是采用外送檢測機關，這種方法一般檢測時間很長，一個樣品六項指標全部檢測完需要7個工作日，且樣品抽樣量過小，這樣造成測試成本過高；二是自建實驗室 ，實驗室建造成本很高，動輒都要百萬元以上，同時需要配備多名專業人員，人工成本也是個不小的數目。
我國制訂的國家標準SJ/T 11365-2006《電子信息產品中有毒有害物質的檢測方法》，對RoHS要求中有害元素測試方法給予了限定，其中X射線熒光光譜法作為一種快捷、方便的方法被制定為快速篩選方法。
歐盟海關為了提高通關檢測效率，目前在電子電氣產品RoHS檢測上大多采用X熒光光譜檢測方法，對于X熒光光譜檢測合格的產品，基本可以快速放行。所以企業購置X熒光光譜儀可以模擬歐盟的通關篩選過程，從而規避一些通關風險。另外現在國內可以檢測RoHS的X熒光光譜儀價格基本在10—50萬元左右，這比起自建一個專業實驗室或者長期送檢的費用要少很多，可以大大節省企業成本。