一、EPMA相對于SEM，(平臺方面)：
1.可以大束流，計數率與束流成正比；
2.束流控制和穩定性更好；
3.EPMA有光學顯微鏡控制樣品高度。
二、EPMA(WDS)與EDS，(EPMA標配WDS，SEM選配EDS)：
1.EPMA分辨率比EDS高一個數量級；
2.EPMA的靈敏度優于EDS，測試微量元素時效果更好；
3.EPMA檢出限更低；
4.EPMA是有標測試，精度高。
三、EPMA與SEM+WDS，(SEM選配WDS，與EPMA標配WDS)：
1.WDS(SEM)是單通道，1個檢測器配4個分光晶體，測試時旋轉晶體。EPMA可以5個通道5個檢測器同時測試，效率更高；
2.單通道時，方位受限；
3.由于SEM的小束流，靈敏度低，低含量元素測試受限；
4.EPMA檢測限更低；
5.SEM+WDS低倍測試不能（最低40X左右），EPMA可分性區域更大（樣品臺掃描）。
四、SEM+EDS優勢：
1.更好的電子圖像質量（二次電子分辨率、銳度方面等更好）；
2.SEM+EDS更快速的半定量解析；
3.分析過程更簡單一些。
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