掃描電鏡日常維護

掃描電鏡實驗室環境要求：
　　室內溫度：20±5，相對濕度：70%以下，不得有冷凝現象。
　　電源電壓：(220±20)伏;頻率：(50±0.5)赫茲。
　　冷卻水流量不低于2L/min，壓力不低于5×10^4Pa，水溫為20±5。
　　實驗室內雜散磁通量密度不超過5×10^-7T，地基振幅不超過5μm，不得有電磁干擾，不得存放于實驗室無關的易燃、易爆和強腐蝕性氣體和試劑。
　　掃描電鏡日常維護方法：
　　保持掃描電鏡室的潔凈，室內溫度要求在20±5，濕度在70%以下。
　　長期保持鏡筒在一定的真空狀態，即使掃描電鏡不工作期間，也要做到每周開機1~2次，以防鏡筒內部銹蝕。
　　機械泵的油量必須保持在窗口油位刻線的水平上，并定期用熱偶真空計測定其排氣性能，以確定機械泵油是否需要更換。如用直觀的方法觀察到窗口油的顏色呈茶色，說明油需要換。
　　如發現掃描電鏡真空度太差，確定擴散泵抽速下降，更換機器內擴散泵油。
　　定期清洗鏡筒，確保電子光路的正常工作。清洗的范圍是電子束經常照射的有關易污染部件，如各活動光欄、樣品杯、電子槍室等。清洗的方法有所區別，如光欄用真空噴涂儀加熱清洗，電子槍室用酒精和丙酮按1：1混合用棉球清洗，但不論清洗哪一個部件，最好少用或不用拋光膏。
　　定期開啟掃描電鏡各功能部分，每次時間不應小于1小時，防止電器元件的老化和掃描電鏡受潮。
　　定期檢測掃描電鏡X射線的泄漏情況(通常是防疫站完成檢測)。
　　開機、關機均應嚴格按照說明書指示的步驟操作。
　　及時保存、備份有用的數據文件，以免丟失數據;刪除無用數據文件，確保計算機有足夠儲存空間。
　　新掃描電鏡第一次5年后進行校準，以后每3年一次，1.5年進行期間核查一次。掃描電鏡校準項目為直觀檢定、真空度的測定、放大倍數示值誤差的測定、放大倍數重復性的測定、屏幕中心與四角邊緣處倍率誤差的測定、二次電子圖像分辨率的測定、X射線能譜分辨率的測定、X射線能譜儀元素分析范圍的測定;核查內容為放大倍數示值誤差和X射線能譜分辨率的測定。
　　每周清潔一次掃描電鏡的防塵濾網，一年左右更換一次真空泵油。