JSM-7800FPRIME 熱場發射掃描電子顯微鏡
JSM-7800FPRIME采用新開發的超高分辨率GBSH模式，達到了世界zei高水準的分辨率。浸沒式肖特基Plus電子槍，將zei大探針電流從200nA提高到了500nA。
JSM-7800F PRIME采用新開發的超高分辨率GBSH模式，達到了世界zei高水準的分辨率。浸沒式肖特基Plus電子槍，將zei大探針電流從200nA提高到了500nA。
浸沒式肖特基Plus場發射電子槍
電子槍和低像差聚光鏡的優化組合，實現了更高的亮度，能有效采集電子槍中發射的電子，即使在低加速電壓下也能獲得幾pA～數10 nA 探針電流，保持zei小的物鏡光闌就可以進行納米尺寸的高分辨率觀察、快速元素面分布及EBSD分析。
利用GBSH(Gentle Beam Super High Resolution)觀察樣品表面
以前的GB※模式經過改進后，可以對樣品施加更高的電壓，這樣在低加速電壓下也能獲得超高分辨率的圖像。從樣品的淺表面觀察到納米尺寸的元素分析，GBSH能根據各種不同的應用選擇加速電壓。
※Gentle Beam(GB) 通過給樣品加以偏壓(GB)，對入射電子有減速、對釋放出的電子有加速作用。
通過Gentle Beam (即柔和光束GB模式) 觀察樣品的淺表面
給樣品加以偏壓(GB)，對入射電子有減速、對釋放出的電子有加速作用。即使入射電子束到達樣品時的能量很低，也可以獲得高分辨率、高信噪比的圖像。如果利用能施加更高偏壓的GB模式，用數十電子伏能量的入射電子束，就可以進行更高分辨率的觀察。
通過多個檢測器獲取樣品的所有信息
JSM-7800F配有四種檢測器：高位檢測器(UED) 、高位二次電子檢測器(USD)、背散射電子檢測器(BED)和低位檢測器(LED)。UED過濾器的電壓不同，二次電子和背散射電子的數量會改變，因此可以選擇電子的能量，USD檢測被過濾器彈回的低能量電子，BED通過檢測低角度的背散射電子，能清楚地觀察通道襯度。利用LED的照明效果能夠獲得含有形貌信息的、富有立體感的圖像。
應用實例
利用GBSH進行觀察
JSM-7800FPRIME 標配了GBSH模式。下圖是高定向熱解石墨(HOPG)解理面的二次電子像，到達樣品時的能量為1keV，左圖中樣品偏壓為-2kV，右圖中樣品偏壓為-5kV。 可以看出利用GBSH(樣品偏壓-5 kV)模式觀察，HOPG的微細結構更加清晰，達到的分辨率更高。
| 分辨率 | 0.7 nm(15 kV)、0.7 nm(1 kV) 分析模式：3.0 nm (5kV、WD10mm、5nA) |
| 倍率 | × 25 ～ × 1,000,000 |
| 加速電壓 | 0.01kV ～ 30kV |
| 束流 | 數pA～500nA |
| 自動光闌角zei佳控制透鏡 | 內置 |
| 檢測器 | 高位檢測器(UED) 低位檢測器(LED) |
| 能量過濾器 | UED過濾器電壓可變功能內置 |
| Gentle Beam模式 | 內置 |
| 樣品臺 | 全對中測角樣品臺、5軸馬達驅動 |
| 樣品移動范圍 | X:70mm, Y:50mm Z: 2mm to 25mm 傾斜－5 ～ ＋70° 旋轉360° |
主要選配件
能譜儀（EDS)
波譜儀（WDS）
電子背散射衍射系統（EBSD)
陰極熒光系統（CLD）
| 分辨率 | 0.7 nm(15 kV) 0.7 nm(1 kV) 3.0 nm (5kV、WD10mm、5nA) |
| 倍率 | x25 ～ x1,000,000(SEM) |
| 加速電壓 | 0.01kV ～ 30kV |
| 樣品照射電流(探針電流) | 數pA～500nA |
| 自動光闌角zei佳控制透鏡 | 內置 |
| 檢測器 | 高位檢測器(UED) 低位檢測器(LED) |
| 能量過濾器 | UED過濾器電壓可變功能內置 |
| Gentle Beam （GB模式即柔和光束） (樣品偏壓) | 內置 |
| 數字圖像 | 1,280 x 960 像素, 800 x 600 像素 |
| 樣品交換室 | 由TYPE2A構成 |
| 樣品臺 | 全對中測角樣品臺、5軸馬達驅動 |
| X-Y | X:70mm, Y:50mm |
| 傾斜 | -5 ～ +70° |
| 旋轉 | 360° |
| 工作距離 | 2mm to 25mm |
| 真空系統 | SIP 2臺、TMP、RP |
| 節能設計 | 正常運行時: 1.3kVA 節能模式時: 0.8ｋV |
能譜儀（EDS)
波譜儀（WDS）
電子背散射衍射系統（EBSD)
陰極熒光系統（CLD）
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