光譜儀光學系統由入射狹縫、光柵、出射狹縫及羅蘭圓組成——其目的是讓采集到的一束復合光通過光學系統的分光作用后變成單色光，找到每個元素的特征分析譜線。
光學室的特性
真空光室測試UV波段的元素：C,N,O,P,S,B。主要應用在Fe基或是其他的合金(如；Ti,Al…)
空氣光室測試可見光波段和紅外波段元素
溫度=常數(恒定)
幾何結構:羅蘭圓、衍射光柵、檢測器根據這些來定位。
光柵的作用：分光--使復合光變成單色光。
羅蘭圓的作用：是一個經典的分光結構，能將入射狹縫，光柵和出射狹縫同時聚焦在羅蘭圓上。
光學（分光）系統
在一臺儀器中如分光波段為120-800nm是否有必要設置2個以上光學系統來完成微波等離子體光譜儀(MPT、MIP)整個波段的分光，如需要應如何設置？
遠紫外光的分光特點：波長短，能量高，要求光柵具有極強的分光能力，故應選擇高刻線光柵如3600條/mm進行分光，且為了減少紫外光能量損失，應選擇對遠紫外光吸收小的材料作光柵。
可見光的分光特點：波長居中，能量居中，要求光柵具有較強的分光能力，故應選擇中刻線光柵2400條/mm進行分光，且對光柵材質無特殊要求。
直讀光譜儀的故障處理
1.異常現象：激發聲音不連續，中間有間隔；邏輯控制板上紅燈亮異常原因：這種異常現象多來自于輔助間隙由于長期使用內部積灰太多，長此以往，會使輔助間隙邊緣放電，導致損壞，必須更新。
解決辦法：拆下激發臺下的輔助間隙，用酒精棉簽清理即可。
2.異常微波等離子體光譜儀(MPT、MIP)現象：激發點為白點或灼斑。
異常原因：這種情況多為氬氣純度不夠或儀器內部管路堵塞導導致的。
解決辦法：①對于氬氣純度不夠，可以更換氣瓶或將氬氣凈化器凈化吸附柱再生；
②對于儀器內部管路堵塞問題，可以對氬氣管路進行檢查、清理，重點應放在激發臺下“U”型管和其上的電磁閥部分，該部分管路較細，易發生堵塞；
③廢氣排氣管堵塞也會導致上述現象。
3.異常現象：鋁的分析數據異常。
異常原因：目前，各鋼廠普遍采用三氧化二鋁砂帶打磨試樣，這樣砂帶上的三氧化二鋁勢必會對鋼中鋁的分析數據帶來影響，主要表現在以下兩個方面：標準化時，影響高低標的鋁分析數據；日常分析時，對生產試樣的分析數據的影響。
解決辦法：①打磨標準化微波等離子體光譜儀(MPT、MIP)樣品時，應采用舊砂帶，若采用新砂帶，需先用廢樣打磨一下，才能磨標準化樣品，然后用吸耳球吹洗表面；同時在標準化時，對鋁的強度值應格外關注，發現偏差較大的點應刪除；
②在分析生產樣品時，同樣應關注鋁的分析結果，出現偏差應多分析幾點，將超差結果舍去。
4.異常現象：①描跡時，多數或所有元素通道未出現最佳位置；
②標準化時，各元素高低兩個點的強度差別不大，且校正系數αβ值異常。
③濃度分析時，標樣儀器分析值與其化學成分偏差較大。
異常原因：上述異常現象產生的原因是由于技術員或操作者在描跡時出現失誤，轉錯了描跡旋鈕方向或圈數，致使出射波長偏離設置位置。
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