X射線熒光光譜儀是一種常用的光譜儀產品，可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業樣品。
X射線熒光光譜儀具有靈明度強、度高、檢測范圍廣、自動快速等特點，廣泛應用于地質、冶金、有色金屬加工、建材、考古等領域，在主、次量和痕量元素分析中發揮的作用日趨重要，特別是在無損分析和原位分析方面具有不可替代的作用。X 射線熒光光譜儀有波長色散型（WDXRF）和能量色散型（EDXRF）兩種基本類型。
X 射線管產生X 射線（一次X射線），激發被測樣品。使樣品所含的每種元素放射出二次X射線；不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的波長特性。二次X射線經過分光晶體，變成單一波長的譜線，探測器測量這些譜線的數量。然后，分析軟件通過探測系統收集到的信息，對被測樣品進行定性和定量分析，轉換成樣品中各種元素的種類及含量。利用X 射線熒光分析原理，理論上可測量元素周期表中的每一種元素。
X射線熒光光譜分析的一般步驟是：選擇分析方法，樣品制備，儀器參數選擇與校準曲線的制作，試樣分析。