土壤中固體的基本組成主要是各種硅鋁酸鹽，各種微量元素含量差別隨土壤形成條件和環境等差異很大，常見的用于做土壤金屬分析的儀器主要是：原子吸收分光光度計（AAS），X射線熒光光譜儀（XRF）和電感耦合等離子體分析（ICP）。
原子吸收分光光度法是土壤萃取物分析所選擇的國家標準方法，精密度非常高。石墨爐AAS精度高但價格昂貴，通常火焰AAS即可滿足需求。不過AAS每次只能檢測一個元素，對于不同元素需要用多種測量方法，對操作者的要求比較高。現有品牌有賽默飛世爾。
X射線熒光分析，特別是能量色散型的X射線熒光分析，市場上有成熟的手持式商品出售，可以快速同時進行多種元素分析，實時觀測結果。由于XRF不需要使用強酸等溶解樣品，便于在現場使用，可滿足大多數土壤中金屬檢測的應用需求。不過由于X射線的性質，要達到實驗室級別的精度，現場檢測的樣品的制備有一定的要求。市場上最大占有率的是賽默飛世爾尼通（NITON）和奧林巴斯伊諾斯（Innov-X)，以及浪聲科學儀器（LANScientific）。
電感耦合等離子體分析也可以做到全譜測量，即一次得到多種元素的含量，通常跟質譜或發射光譜方法結合，以獲得更高的精度，是目前檢出限最低的方法之一。作為超痕量分析方法，在準確性和精密性上很難有其他手段可比擬；但是儀器價格昂貴，對環境要求高，一般只適用于實驗室分析。目前比較有名的型號是島津。