電離真空計是基于在一定條件下，待測氣體的壓力與氣體電離產生的離子流呈正比關系的原理制作的真空測量儀器。
由筒狀收集極，柵網和位于柵網中心的燈絲構成，筒狀收集極在柵網外面。熱陰極發射電子電離氣體分子，離子被收集極收集，根據收集的離子流大小來測量氣體壓強的真空計。
