表面成分分析儀是一種用于數學領域的計量儀器，于2016年12月1日啟用。
技術指標
分辨率：（二次電子、高真空）15kV時1.2nm、 1kV時2.2nm加速電壓：0.02～30KV放大倍數：10～2,000,000x。
主要功能
有超高分辨率，能做各種固態樣品表面形貌的二次電子象、背散射電子成像。 具有高性能x射線能譜儀，能同時進行樣品表層的微區點線面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化學組分綜合分析能力。
