電子能譜儀：對固體表面進行微區成份分析及元素分布。可應用于半導體材料、冶金、地質等部門。X光光電子能譜儀：對固體進行化學結構測定、元素分析、價態分析。可應用于催化、高分子、腐蝕冶金、半導體材料等部門。
電子能譜儀是利用光電效應測出光電子的動能及其數量的關系，由此來判斷樣品表面各種元素含量的儀器。電子能譜儀可分析固、液、氣樣品中除氫以外的一切元素，還可研究原子的狀態、原子周圍的狀況及分子結構，在表面化學分析、分子結構、催化劑、新材料等研究領域中已得到應用。電子能譜儀主要用途：1、高分子、陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機或有機固體材料分析；2、金屬材料的相分析、成分分析和夾雜物形態成分的鑒定；3、可對固體材料的表面涂層、鍍層進行分析，如：金屬化膜表面鍍層的檢測；4、金銀飾品、寶石首飾的鑒別，考古和文物鑒定，以及刑偵鑒定等領域；5、進行材料表面微區成分的定性和定量分析，在材料表面做元素的面、線、點分布分析。
