1883年，發明大王托馬斯·愛迪生正在為尋找電燈泡最佳燈絲材料，曾做過一個小小的實驗。他在真空電燈泡內部碳絲附近安裝了一小截銅絲，希望銅絲能阻止碳絲蒸發。但是他失敗了，他無意中發現，沒有連接在電路里的銅絲，卻因接收到碳絲發射的熱電子產生了微弱的電流。當時愛迪生正潛心研究城市電力系統，沒重視這個現象。但他為這一發現申請了ZL，并命名為“愛迪生效應”。
1904年，世界上第一只電子二極管在英國物理學家弗萊明的手下誕生了，這使愛迪生效應具有了實用價值。弗萊明也為此獲得了這項發明的ZL權。
1906年，美國發明家德福雷斯特（De Forest Lee），在二極管的燈絲和板極之間巧妙地加了一個柵板，從而發明了第一只真空三極管．
1947年，美國物理學家肖克利、巴丁和布拉頓三人合作發明了晶體管——一種三個支點的半導體固體元件．
1904年，世界上第一只電子管在英國物理學家弗萊明的手下誕生了。弗萊明為此獲得了這項發明的ZL權。人類第一只電子管的誕生，標志著世界從此進入了電子時代。世界上第一臺計算機用1.8萬只電子管，占地170m*2，重30t，耗電150kW。
說起電子管的發明，我們首先得從“愛迪生效應”談起。愛迪生這位舉世聞名的大發明家，在研究白熾燈的壽命時，在燈泡的碳絲附近焊上一小塊金屬片。結果，他發現了一個奇怪的現象：金屬片雖然沒有與燈絲接觸，但如果在它們之間加上電壓，燈絲就會產生一股電流，趨向附近的金屬片。這股神秘的電流是從哪里來的？愛迪生也無法解釋，但他不失時機地將這一發明注冊了ZL，并稱之為“愛迪生效應”。后來，有人證明電流的產生是因為熾熱的金屬能向周圍發射電子造成的。但最先預見到這一效應具有實用價值的，則是英國物理學家和電氣工程師弗萊明。
弗萊明的二極管是一項嶄新的發明．它在實驗室中工作得非常好．可是，不知為什么，它在實際用于檢波器上卻很不成功，還不如同時發明的礦石檢波器可靠．因此，對當時無線電的發展沒有產生什么沖擊．