利用高壓靜電吸附的原理去除空氣中的微粒污染物,如灰塵、煤煙、花粉、香煙味和廚房油煙等。該技術的缺點是容易產生臭氧，而且只對顆粒物等大粒子氣體有效果。其缺點是需要注意電器安全性問題（高壓有時會達到幾萬伏），清洗困難，而且容易產生臭氧，必須妥善設計讓臭氧排出量降至安全濃度以下。

臭氧可以殺菌，在殺滅一些病毒細菌的同時也可能殺滅人體白細胞,有導致癌變的可能。因此一般不用于家用空氣凈化產品。臭氧因子主要是用來對空氣進行滅菌消毒，臭氧是一種世界公認高效的滅菌解毒氧化劑，可高效分解各類裝修污染物，快速殺滅各種病毒和細菌。能滿足剛裝修完和階段性專門靜態治理，但因為臭氧所具有的強氧化作用，會對人產生傷害，加速物體表面老化，需要提示的是這種處理方法需要人員回避，定時處理完30分鐘后自動還原為氧氣，是一種沒有任何化學殘留的綠色氧化分解劑。

紫外線在機器內部使用紫外線燈消毒殺菌，但是也容易產生過多臭氧。要達到有效的消毒功能必須保證一定的照射時間，空氣凈化器一般風速較大，因此紫外殺菌能力有限，并且人體不能長時間收到紫外照射，對其密封要嚴密。