LIBS概念自20世紀60年代首次提出以來，因各種原因，一直以來主要用于科學研究領域。隨著技術的不斷突破，例如穩定可靠的激光器、高分辨率光譜儀、以及分析軟件技術等進展，LIBS的產業化在近十年中有了快速的發展，使其成為可以真正應用于實驗室甚至工業現場的實用分析儀器。其中比較有代表性的是TSI推出的ChemReveal 臺式LIBS激光誘導擊穿光譜儀，除了擁有LIBS通常具有的特點，其內置的雙攝像頭、微秒級時序控制、微米級XYZ三軸樣品臺控制、以及可編程的量化分析軟件等功能，使儀器的可靠性、可重復性和操作便利性達到了商業或工業應用的要求。