吸附法
通常吸附分為物理吸附（范德華力）和化學吸附兩類。而VOC廢氣的凈化主要采用物理吸附方法。因為吸附過程與許多因素有關，而且吸附劑/吸附質系統使各個因素間的相互作用、變化也十分復雜，所以迄今為止尚未找到一般通用的吸附等溫線方程。
吸附法常用于凈化氣質量要求特別高的場合。吸附方法的凈化率一般較高。但其吸附容量低，一般只有40%左右，因此必須頻繁地進行吸附、解吸和再生操作。
吸收法
在吸收操作時，所要分離的氣體組分（吸收質）先與液相（吸收劑）相結合，隨后可通過再生方法（解吸）返回到氣相中增，吸收過程與吸附相關似，都是放熱過程。吸收過程可以是物理的，也可以是化學的。常用的吸附劑有水、洗油、乙二醇醚。
冷凝法
冷凝法是用來分離氣體中可以冷凝組分，通過提高壓力可以明顯改善冷凝效果。其使用的主要設備是冷凝器。冷凝器可分為直接冷凝和間接冷凝。
膜分離法
有機廢氣凈化中的膜分離法也稱為滲透法，在有機廢氣凈化中，是借載空氣和有機蒸氣不同的滲透有力，或膜對氣體混合物中分子的不同選擇性而將其分開。
膜分離技術成為地用于VOC回收，若要達到穥事環境法規所要求的標準，必須用其它凈化方法進一步處理，例如吸附、生化和熱力燃燒等方法。
生物降解法
有機廢氣凈化方法其中一種生物降解法，也稱生物活、生化法或生物催化法。主要是按照廢水生化處理的原理進行的。目前主要分為三個類型：膜生化反應器，生化過濾器和生化洗滌器。在實際應用中生化過濾器和洗滌器比較常見。
低溫等離子體法
等離子體是處于電離狀態的氣態物質，它大量帶電粒子和中性粒子所組成，在電磁力作用下粒子的運動和行為以集體效應為主的體系，并呈電中性。等離子體有不同的類型，即電中性，非電中性，高密度，低密度，高溫，低溫等離子體。紫外線燈（汞燈）也可用作最簡單的等離子體源。
光催化氧化法
光催化氧化法是借催化劑具有光催化作用的性能，將吸附在催化劑表面上的VOC氧化為CO2和H2O。該法主要用于室內外VOC污染的凈化和脫臭。
燃燒法
有機廢氣凈化的燃燒法是基于廢氣中有機化合物可以燃燒氧化的特性，其目的是通過燃燒將廢氣中可氧化的組分轉化為無害物質，在廢氣中含純碳氫化合物的情況下，即轉化為CO2和H2O。