1、CCD探測器
使用標準（532nm）和紅外增強（785nm）CCD探測器，采用半導體制冷型一英寸CCD，1024*256像素，制冷溫度-70°C，像元尺寸≤26*26μm，光譜范圍200-1050nm，量子效率峰值≥92%。計算機控制激光衰減片，共16級，從0.000005到100%，以方便針對不同樣品調整激光功率。
2、顯微鏡
采用高穩定性研究級德國原裝Leica顯微鏡，分辨率高，視野大，通過調節目鏡、物鏡可方便、準確地尋找微米級樣品，并且可以安全地觀察激光焦點，以確認激光焦點是否聚焦在微米顆粒上。同時配有高分辨彩色攝像頭，可在計算機上顯示存儲圖像。其中，采用10X原裝目鏡，5X(NA 0.12, WD 14 mm)，20X (NA 0.4, WD 1.15 mm)，100 X (NA 0.85, WD 0.33 mm) 物鏡，以及50X (NA 0.50, WD 10.6 mm)長焦物鏡。
3、顯微共焦組件
Renishaw特有的新型數字化共焦方式，即通過計算機數字化控制狹縫和CCD區域，以避免傳統針孔共焦技術所帶來儀器的不穩定性以及更多的光學元件帶來的信號損失。狹縫大小通過軟件自動調整，在10-2000μm范圍內連續可調。