離子束切割拋光儀是一種用于材料科學領域的工藝試驗儀器，于2018年5月23日啟用。
技術指標
拋光角度: +10° 到 -10° ，每個離子槍可獨立調節 離子束能量: 100 V 到 8.0 kV 離子束流密度: 10 mA/cm2 峰值 拋光速度: 300 μm/h（8.0 kV條件下對于硅試樣）。
主要功能
樣品減薄、拋光。
