來自紅外光源的輻射,經過凹面反射鏡使成平行光后進入邁克爾遜干涉儀,離開干涉儀的脈動光束投射到一擺動的反射鏡B,使光束交替通過樣品池或參比池,再經擺動反射鏡C(與B同步),使光束聚焦到檢測器上。
傅立葉變換紅外光譜儀無色散元件,沒有夾縫,故來自光源的光有足夠的能量經過干涉后照射到樣品上然后到達檢測器,傅立葉變換紅外光譜儀測量部分的主要核心部件是干涉儀。