為了故障排查的方便，我把點火失敗的原因歸結為兩大類：
一．非 ICP-OES 硬件故障
（一） 癥狀：
1．每次都能點著火，但剛點著，就熄火。★
2． 蠕動泵轉動就熄火。★★
3． 維持幾分鐘后又熄火。★
4． 有絲狀放電，但形不成等離子體。★
如果遇到以上點火不成功的現象，首先要從ICP 外圍因素入手。
（二）可能的原因及判斷：
1．氬氣不純。
如果是在更換完氬氣后，才出現以上現象，一般情況下就是氬氣的原因，重新換一瓶氬氣，或將原來剩余的能正常點火的氬氣接上再試。★★★
2．外置冷卻水不純。
如果幾個月或更長時間沒有更換冷卻水，建議更換冷卻水，水的純度越高越好。★
3．穩壓電源工作不穩。
可以跳過穩壓電源，將
ICP 電源接在穩壓電源輸入端測試。★
4．進樣系統安裝不到位。
根據要求重新安裝炬管，并檢查泵管是否卡好以及霧室內是否有積水。★★
5．散熱抽風量過大。
根據安裝培訓時的要求，檢查抽風量是否過大。★
6．點火參數設置不正常。
檢查點火參數是否在正常的范圍之內，包括功率，冷卻氣，輔助氣，霧化氣，泵速。如果以上原因都被排除了，接下來就要排查硬件故障。★
二．ICP 硬件故障（ 在已經排除了非硬件原因的前提下）
（一） 癥狀及原因判斷：
1． 開機就有 POWER （電源）報警，引起此故障的原因一般有兩個：★
（1）ICP 主板與高壓箱連接的數據線松動。★
（2）高壓箱故障。★★
A．對于 PROFILE ICP，其 POWER 報警同時又有可能是TEMP（溫度）報警，判斷的方法是從 113-00113-1 接口板上的 J1 端口的 17 腳測量 TEMP 對地電壓是否為高電平(5VDC) ；而對于 PRODIGY ICP，TEMP 報警在連鎖信息里就有顯示；如果是TEMP 報警， 113-00109-1和 113-00108-1 都有可能出問題，判斷具體是哪塊板子的問題，首先測量兩塊板子上的溫度開關是否斷開，如果都沒斷開，再測量113-00109-1 板上的數字地對模擬地的電壓，正常值應該接近 0VDC ，如果兩者之間的懸浮電壓過高，就會導致TEMP 報警，可能的原因是00109-1 板上的 D3 穩壓二極管失效。★★
B．如果開機僅僅是POWER 報警，最大的可能是113-00108-1 電路板的問題；★
2．點火時無絲狀放電，也沒有POWER 報警，而且聽不到點火模塊高壓脈沖放電的聲音。★
（1）點火模塊 122-00170-1 失效。★
（2）點火線上有灰塵且潮濕，導致高壓脈沖對儀器金屬殼放電。★★
3．能聽到高壓脈沖放電的聲音，偶爾能點著，但點火很困難，且點著瞬間能聽到爆鳴聲。★
（1）點火線上有灰塵且潮濕，導致高壓脈沖對儀器金屬殼放電。★
（2）點火模塊與點火線連接處或點火線有破損導致對儀器金屬殼放電。★★
4．能聽到高壓脈沖放電的聲音，無絲狀放電，也無POWER 報警，儀器顯示點火失敗。★★★
（1）燈絲驅動板 113-00110-1 無輸出。★★
A．燈絲驅動板上的場效應管被擊穿，同時與燈絲驅動板相連的380VDC 線路上的 3A 保險也會熔掉。
B．高壓調整板 113-00108-1 上的 L3 電感斷路。★
C．燈絲控制板 113-00115-1 壞掉。★
D．380VDC 無輸出， 113-00109-1 板上的 5A 保險熔掉或 PFC 模塊不工作。★
（2）6KV 高壓無輸出。★★
A．高壓子板 113-00107-1 不工作，板上有二極管被擊穿。★★
B．高壓調整板 113-00108-1 不工作。★
C．380VDC 無輸出， 113-00109-1 板上的 15A 保險熔掉或 PFC 模塊不工作。★
（3）點火線上有灰塵且潮濕，導致高壓脈沖對儀器金屬殼放電。★★
（4）大功率管燈絲斷路。★
5．能聽到高壓脈沖放電的聲音，無絲狀放電，也無POWER 報警，但儀器顯示已點火成功。★
（1）外置冷卻水長久未換，或用10%HCL 清洗后，沒有將酸溶液沖洗干凈，導致冷卻水電阻過小， RF 功率被冷卻水分流。★
（2）大功率管失效。★★
摘掉高壓負載，用高壓棒測量，高壓正常；加上高壓負載，高壓達不到2KV ，而此時軟件
顯示點火已成功。
6．能聽到高壓脈沖放電的聲音，但無絲狀放電，且伴有POWER 報警。★★★
（1）燈絲驅動板 113-00110-1 無輸出。★
A．燈絲驅動板上的場效應管被擊穿，同時與燈絲驅動板相連的380VDC 線路上的 3A 保險也會熔掉。★★
B．高壓調整板 113-00108-1 上的 L3 電感斷路★。
C．燈絲控制板 113-00115-1 壞掉。★
D．380VDC 無輸出， 113-00109-1 板上的 5A 保險熔掉或 PFC 模塊不工作。★
（2）無高壓輸出，高壓調整板113-00108-1 故障。★
（3）有高壓輸出。★★★
A．連接高壓子板 113-00107-1 與高壓過濾板 113-00104-1 的高壓電纜有破損， 導致對外殼放電。★
B．高壓過濾板 113-00104-1 上的濾波電容擊穿，導致高壓對地放電。★★
C．振蕩箱內高壓線圈 (120-00390-2 LG DIA COIL) 絕緣層破損，導致點火時對其并列的耦合線圈放電。★
D．振蕩箱內 1000PF 或 200PF 高壓電容 205-7210 擊穿。★★★
E．振蕩箱內絕緣塊303-00510 擊穿。★★
（4）如果（ 1）、（2）、（3）原因都被排除，這時大功率管失效的可能性就非常大了，即使在靜態測量時大功率管各項參數正常。★
7．有絲狀放電，但形不成等離子體，且伴有POWER 報警。★★
（1）燈絲電壓過低。詳細設置，請參考維修手冊。★
（2）HV 高壓過低。詳細設置，請參考維修手冊。★
（3）5．（3）內容里提到的配件行將破損或擊穿。★★
（4）如果（ 1）、（2）、（3）原因都被排除，這時大功率管失效的可能性就非常大了，即使在靜態測量時大功率管正常。★
8．能形成等離子體，但等離子體短小或只有下半部，而且一旦有樣品進入，即使是水溶液，也會立馬熄火。★
排除氬氣的因素外，唯一的原因就是大功率管已經失效。
注：后加★號的多少， 完全靠個人經驗， 表明該癥狀和可能導致該癥狀的原因出現幾率的大小，僅供大家參考！
點火失敗時的癥狀有多種，每一種癥狀的背后又有多種可能的原因，本文列舉的這些癥狀及原因，并不能包羅全部，加上本人經驗及理論知識有限，難免有疏漏之處，希望各位工程師批評指正并加以補充完善。