1、充氦法
充氦法也稱負壓法 ，一個密閉的氣室連接真空泵和氦氣罐，將被檢零件裝入一個氣室，開始關閉氦氣罐閥門，機械泵把氣室先抽成真空，然后關閉真空泵閥門，打開氦氣罐閥門給氣室充氦，并靜置一段時間。被氦氣包圍的小器件上如果有漏隙，氦氣就慢慢充入小器件內部。然后將氣室打開，取出被檢器件，用壓縮空氣吹掉其外表面可能吸附的氦。再把這些器件逐個(或成組) 地裝入接在檢漏儀進氣法蘭處的容器中，把此容器抽空后打開節流閥，這時原先進入被檢器件的氦又會經過漏孔放出來，檢漏儀就會給出漏率響應。
衛星的整體檢漏就是可以用這種方法，將衛星放入大型環模室中，利用環模設備的真空系統將環模抽成真空，先用輔助泵進行粗抽和預抽，在檢漏時先通過機械泵將衛星及充氣管道抽成真空后，將氦氣充入衛星中，壓力保持和衛星工作的壓力一致，最后開啟氦質譜檢漏儀用標準漏孔校準儀器，就可以直接測量衛星的漏率了。
2、鐘罩法
將氦質譜檢漏儀與試件用真空橡皮管連接，在試件上用密閉的容器罩住，在容器里充入氦氣，檢漏儀開始檢漏，如果試件有漏點，儀器就可以顯示其漏率；這種方法可以測量導彈液體儲料罐的漏率，在罐體外罩氦罩采用塑料薄膜，對罐體進行粗抽和預抽，在用標準漏孔校對檢漏儀，對氦罩進行充氦，就可以測出罐體的漏率
氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，用這種技術檢漏效率高，簡便易操作，儀器反映靈敏，精度高，不易受其它氣體的干擾，以上列舉的方法是檢漏技術領域里經常用道的方法，包括了從小件檢漏到大件檢漏，從確定漏孔檢漏到確定漏率檢漏，比較全面的列舉了各種檢漏方法，相信在工程實際應用中有很好的參考價值。