FTIR分析儀是什么

FTIR 傅氏轉換紅外線光譜分析儀　　(Fourier Transform infrared spectroscopy)
用于半導體制造業。FTIR乃利用紅外線光譜經傅利葉轉換進而分析雜質濃度的光譜分析儀器。
目的：·已發展成熟，可Routine應用者，計 有： A.BPSG/PSG之含磷、含硼量預測。 B.芯片之含氧、含碳量預測。 C.磊晶之厚度量測。·
發展中需進一步Setup者有： A.氮化硅中氫含量預測。 B.復晶硅中含氧量預測。 C.光阻特性分析。FTIR為一極便利之分析儀器，STD的建立為整個量測之重點，由于其中多利用光學原理、芯片狀況（i.e.晶背處理狀況）對量測結果影響至鉅。
目前所有的紅外光譜儀都是都是傅里葉變換型的，光譜儀主要由光源（硅碳棒、高壓汞燈）、邁克爾遜干涉儀、檢測器和干涉儀組成。而傅里葉變換紅外光譜儀的核心部分是邁克爾遜干涉儀，把樣品放在檢測器前，由于樣品對某些頻率的紅外光產生吸收，使檢測器接受到的干涉光強度發生變化，從而得到各種不同樣品的干涉圖。這種干涉圖是光隨動鏡移動距離的變化曲線，借助傅里葉變換函數可得到光強隨頻率變化的頻域圖。這一過程可有計算機完成。
用傅里葉變換紅外光譜儀測量樣品的紅外光譜包括以下幾個步驟：
1)、分別收集背景（無樣品時）的干涉圖及樣品的干涉圖;
2)、分別通過傅里葉變換將上述干涉圖轉化為單光束紅外光；
3)、將樣品的單光束光譜處以背景的單光束光譜，得到樣品的透射光譜或吸收光譜。