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  • 發布時間:2022-06-15 14:50 原文鏈接: 半導體芯片制造廢水處理方法

       芯片制造生產工藝復雜,包括硅片清洗、化學氣相沉積、刻蝕等工序反復交叉,生產中使用了大量的化學試劑如HF、H2SO4、NH3?H2O等。

     所以一般芯片制造廢水處理系統有含氨廢水處理系統+含氟廢水處理系統+CMP研磨廢水處理系統。


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