等離子發射光譜儀是由高頻發生裝置（幾十兆赫茲）、單色器、光電接收裝置、數據處理系統等組成。工作原理：高頻發生裝置輸出的電感耦合管狀體里（高溫體）注入樣品、氬氣、氮氣等混合氣體（一定比例）。使樣品原子化顯現光譜，用單色器等光學器件來處理光譜，再由光電接收裝置測量它的光譜強度，然后計算機等數據處理系統，根據標準樣品作標準曲線（數學模型），這樣可以根據標準曲線算出被測樣品含量。
