能量色散 X 射線熒光 (EDXRF) 是用于元素分析應用的兩種通用型 X 射線熒光技術之一。在 EDXRF 光譜儀中，樣品中的所有元素都被同時激發，而能量色散檢測儀與多通道分析儀相結合，用于同時收集從樣品發射的熒光輻射，然后區分來自各個樣品元素的特性輻射的不同能量。EDXRF 系統的分辨率取決于檢測儀，通常范圍為 150 eV -600 eV。EDXRF 系統的主要優點是簡單、快速、無運動部件和較高的源效率。
X 射線光學晶體可用于增強 EDXRF 儀器。對于常規 XRF 儀器，樣品表面典型焦斑尺寸的直徑范圍從幾百微米到幾毫米不等。多毛細管聚焦光學晶體從發散 X 射線源收集 X 射線，并將它們引導至樣品表面上形成直徑小到幾十微米的小聚焦光束。由此增加的強度以小焦斑傳遞到樣品，可增強用于小特性分析的空間分辨率和用于微 EDXRF 應用的微量元素測量性能。