三氯化磷和乙醇反應得到亞磷酸三乙酯。亞磷酸三乙酯和氯甲酸乙酯反應，即可得膦甲酸三乙酯。膦甲酸三乙酯溶于氫氧化鈉的水溶液中，回流、冷卻、過濾得膦甲酸鈉的六水合物。或者將研細的氰化鈉置于四氯化碳中，滴加亞磷酸二乙酯，反應完畢，過濾、濃縮、減壓蒸餾，得氰代磷酸二己酯。將其和氫氧化鈉一起回流、過濾，用水重結晶，得膦甲酸鈉六水合物。
