背散射電子像是在掃描電子顯微鏡中,通過電子槍產生的電子,經過加速電場、偏轉磁場后,照射到待檢測的樣品表面,待檢測樣品會反射一部分的電子,在掃描電子顯微鏡的工作鏡腔里的背散射電子探頭就會檢測到這些被反射的電子,進而在檢測器上所成的像。