1.觀察未經染色的標本和活細胞。
2.試樣表面粗糙度的測定
如圖1所示．若被測試樣表面粗糙不平，干涉帶即成彎曲狀。由測微目鏡讀出相鄰量干涉帶距離口及干涉帶彎曲度b。因光程差每增加半個波長，即形成一條干涉帶，故被測試樣表面微觀的不平度的實際高度為
式中，τ為光波的波長。
3.材料塑性變形和相變浮凸的測量
因材料塑性變形和相變浮凸都相對于原來的表面產生很小的高度差，故干涉顯微鏡能夠很容易把這些高度差檢測出來，可檢測到數十納米的差異。
