1、生產成本低：由于反應溫度低，可在200℃左右的溫度下制造，因此可以在玻璃、不銹鋼板、陶瓷板、柔性塑料片上淀積薄膜，易于大面積化生產，成本較低。單節非晶硅薄膜太陽能電池的生產成本目前可降到1.2美元/Wp。疊層非晶硅薄膜電池的成本可降至1美元/Wp以下。
2、能量返回期短：轉換效率為6%的非晶硅太陽能電池，其生產用電約1.9度電/瓦，由它發電后返回上述能量的時間僅為1.5-2年。 [1]
3、適于大批量生產：非晶硅材料是由氣相淀積形成的，目前已被普遍采用的方法是等離子增強型化學氣相淀積(PECVD)法。此種制作工藝可以連續在多個真空淀積室完成，從而實現大批量生產。采用玻璃基板的非晶硅太陽能電池，其主要工序（PECVD）與TFT-LCD陣列生產相似，生產方式均具有自動化程度高、生產效率高的特點。
在制造方法方面有電子回旋共振法、光化學氣相沉積法、直流輝光放電法、射頻輝光放電法、濺謝法和熱絲法等。特別是射頻輝光放電法由于其低溫過程(～200℃)，易于實現大面積和大批量連續生產，現成為國際公認的成熟技術。
4、高溫性能好：當太陽能電池工作溫度高于標準測試溫度25℃時，其最佳輸出功率會有所下降；非晶硅太陽能電池受溫度的影響比晶體硅太陽能電池要小得多。
5、弱光響應好，充電效率高：非晶硅材料的吸收系數在整個可見光范圍內，在實際使用中對低光強光有較好的適應。
上述獨特的技術優勢，令薄膜硅電池在民用領域具有廣闊的應用前景，如光伏建筑一體化、大規模低成本發電站、太陽能照明光源。由于非晶硅薄膜電池的良好前景，包括Sharp、Q-Cells、無錫尚德等在內的諸多企業正大規模進入非晶硅薄膜太陽能電池領域，整個行業的統計數字不斷翻新。