中國科學院半導體研究所半導體集成技術工程研究中心，在自然科學基金、中科院項目的支持下，經過努力探索，制備成功RF MEMS振蕩器。
基于微納諧振器的MEMS振蕩器，具有高頻、高品質因子(>103)，可與IC電路在同一芯片集成，實現系統小型化，在軍民兩用高技術領域具有非常廣泛的應用。
中國科學院半導體研究所成功制作了高性能全硅MEMS振蕩器，基頻達149MHz，高階頻率達868MHz，大氣中品質因子>8000，相位噪聲在1kHz達到-68dBc/Hz，10kHz達到-95 dBc/Hz，短期頻率穩定度小于±1 ppm，中期頻率穩定度-5 ppm --2 ppm。全硅MEMS振蕩器比石英晶振在性能、體積和生產成本方面明顯占優，更符合現代電子產品的標準。全球時脈市場規模達50億美元，目前MEMS振蕩器市場占有率在4%以下，但預估2013～2015年，將有高達100%的年增長率。
近日，中國科學技術大學郭光燦院士團隊董春華教授及合作者、特任副研究員鄒長鈴等，將微腔內的光輻射壓力引起的機械振蕩加載到泵浦光上，經過5千米長的單模光纖傳輸后激發另一微腔內的機械振蕩，通過光學模式和機械......
隨著5G不斷商用，物聯網設備與設備之間的連接將變得更加順暢，傳感器也將被安裝在越來越多的設備中。相對于傳統的機械傳感器，MEMS傳感器尺寸更......
直播時間：11月11日（周四）20:00直播地址：科學網新浪微博直播間掃碼進入科學網新浪微博直播間觀看直播科學網微信視頻號將同步直播2021年11月11日（周四）晚8點（北京時間），大家期待已久的iC......
11月1日，MEMS與智能傳感器技術專場活動在鄭州國際會展中心成功召開。本次論壇邀請了眾多權威學者，他們針對智能傳感器行業發展存在的突出問題及薄弱環節，還有我國MEMS與智能傳感器技術的核心競爭力進行......
分析測試百科網訊2021年5月10日，第十九屆中國國際科學儀器及實驗室裝備展覽會及實驗室裝備展覽會（CISILE2021)在國家會議中心正式召開。在本次展會上，上海智城展位上的兩款產品：ZWYC-29......
分析測試百科網訊秋天，象征著成熟，意味著豐收。在秋節里，總有一款儀器等待著“成熟”，等待著“收獲”。現在，由安譜申報的“液液萃取終結者獎”ANTOP獎已進入大眾評審階段，期待著屬于他的“收獲”時刻。安......
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區域競爭：產業向亞太轉移，美、日、德依舊為領先國家縱觀全球MEMS傳感器市場，美、日、德一直占據著主導地位。然而近年來，亞太地區（含日本）受到智能手機、平板電腦、可穿戴產品等市場需求持續增長、且全球電......
研究人員設計了一種新的芯片集成光源，可以將紅外波長轉換為可見波長，而使用基于硅芯片的技術很難生產這種波長。這種靈活的片上光產生方法有望實現高度小型化的光子儀器，該儀器易于制造且堅固耐用，可以在實驗室外......
近日，美國哈佛醫學院科研人員在NatureCommunications上發表了題為“Bacterialvariabilityinthemammaliangutcapturedbyasingle-cel......
