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  • 發布時間:2011-04-30 00:00 原文鏈接: JEM3200FS場發射透射電子顯微鏡

    JEM-3200FS 場發射透射電子顯微鏡
    JEM-3200FS 場發射透射電子顯微鏡
    日本電子
    日本電子


    • JEM-3200FS場發射電子顯微鏡配備了zei高加速電壓為300kV的場發射電子槍(FEG)和鏡筒內置式Ω型能量過濾器,能為廣泛的研究領域提供各種全新的解決方案。

    • 鏡筒內置式Ω型能量過濾器(omega 過濾器)

    • 鏡筒內置式Ω型能量過濾器內置于成像透鏡系統,能容易地獲得能量過濾像和能量損失譜,同時還能獲得與傳統電子顯微鏡同等的放大倍率范圍。此外、Ω型過濾器的電子光學系統在設計上zei大程度地減少了圖像畸變,出廠前還將剩余一點的畸變做了zei后的修正。JEM-3200FS還采用了高靈敏度的相機系統及圖像處理系統(選配件),可以構建元素面分布系統及能量損失譜系統。

    • 新型控制系統

    • 電子槍、電子光學系統、測角臺、抽真空系統等電子顯微鏡基本功能的系統化,實現了高穩定、高性能的控制系統。圖像畫面和用戶界面采用Windows ?*1,可以進行編程操作和附件的集中控制。

    • 新型測角臺

    • 系統化的新型測角臺內置壓電陶瓷驅動機構,使高倍率下的樣品移動更加精確。*2.

    • *1 :  注意事項:Windows是微軟公司在美國和其他國家的注冊商標。
      *2 :  僅有壓電元件包括在基本單元中,壓電元件的電源為選配件。








    物鏡種類*1極高分辨率
    (UHR)型
    高分辨率
    (HR)型
    樣品高傾斜
    (HT)型
    高襯度
    (HC)型
    分辨率
     點分辨率
     晶格分辨率
    0.17nm
    0.1nm
    0.19nm
    0.1nm
    0.21nm
    0.1nm
    0.26nm
    0.14nm
    能量分辨率0.9 eV(零損失FWHM)
    加速電壓300kV,200kV,100kV*2
     zei小步長
     能量位移
    100V
    zei大3,000V (以0.2V為步長)
    電子槍
     發射體ZrO/W(100) 肖特基式
     亮度≧7×108 A/cm2 ? sr
     真空度3×10-8Pa
     探針電流探針直徑為1nm時,電流在0.5nA以上
    穩定度
     加速電壓2×10-6/min
     物鏡電流1×10-6/min
     過濾器透鏡電流1×10-6/min
    物鏡
     焦距2.7 mm3.0 mm3.5 mm3.9 mm
     球差系數0.6 mm1.1 mm1.4 mm3.2 mm
     色差系數1.5 mm1.8 mm2.2 mm3.0 mm
     zei小焦距步長1.0 nm1.4 nm1.5 nm4.1 nm
    束斑尺寸
     TEM 模式2 ~ 5 nmφ2 ~ 5 nmφ7 ~ 30 nmφ
     EDS 模式0.4 ~ 1.6 nmφ0.5 ~ 2.4 nmφ4 ~ 20 nmφ
     NBD 模式0.4 ~ 1.6 nmφ0.5 ~ 2.4 nmφ-
     CBD 模式0.4 ~ 1.6 nmφ0.5 ~ 2.4 nmφ-
    電子束衍射
     衍射角(2α)1.5 t~ 20 mrad-
     取出角±10 °-
    倍率
     MAG 模式×2,500 ~ 1,500,000×2,000 ~ 1,200,000×1,500 ~ 1,200,000
     LOW MAG 模式×100 ~ 3,000
     SA MAG 模式×8,000 ~ 600,000×6,000 ~ 500,000×5,000 ~ 500,000
    視野10eV時狹縫寬度60mm(底片上)
    2eV時狹縫寬度25mm(底片上)
    相機長度
     選區電子衍射200 ~ 2,000 mm250 ~ 2,500 mm400 ~ 3,000 mm
    EELS 散射
     能量選擇0.85 μm/eV , 300 kV
     在能量選擇狹縫上100 ~ 220 μm/eV , 300kV
    樣品室
     樣品移動范圍 (X,Y;Z)X,Y : 2 mm
    Z : 0.2 mm
    X,Y : 2 mm
    Z : 0.4 mm
     樣品傾斜角 (X/Y)±25°/±25°*3±35°/±30°*3±42°/±30°*3±38°/±30°*3
    EDS*4
     固體角0.13 sr0.09 sr
     取出角25°20°

     

    *1 :  訂貨時請指定物鏡種類。
    *2 :  加速電壓為100、200kV時,使用加速管短路開關(選配件)。
    *3 : 使用樣品雙傾樣品桿(EM-31630)。
    *4 : 需要EDS系統(選配件),使用規格為30mm2的檢測器時的數値。




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