JEM-2800 是一臺性能極高,能兼顧高分辨率觀察和快速分析的TEM/STEM裝置。
包括SEM 的多種觀察模式適合于各種樣品
JEM-2800采用新設計的電子光學系統,能兼顧高分辨率觀察和高通量分析,觀察模式如TEM(透射像)、STEM(掃描透射像)、SEM(二次電子像)及ED(電子衍射)模式可在瞬間相互切換,還能在明亮的房間觀察圖像。此外,掃描圖像模式可以同時觀察STEM-BF像、STEM-DF像和二次電子像。利用這些功能,操作者可根據目的,利用感興趣的觀察模式快速獲得從大范圍的樣品結構到亞納米的晶格像。
自動功能和用戶導航支持高效率的操作環境
JEM-2800具有電鏡觀測所需要操作的各種自動功能(自動襯度/亮度調整、樣品高度(Z)調整、自動晶帶軸調整、自動聚焦及自動消象散),這些功能可以使操作者不受熟練程度影響,獲取重現性好的數據。 此外,由于標準配置了渦輪分子泵,換樣時間縮短為30秒鐘后。為使初學者也能夠放心地正確操作,還標準配置JEM-Navi?用戶導航系統,提供獲取數據所需要的操作指南和視頻。
通過大面積100mm2的SDD進行快速分析
JEM-2800不僅可以進行高分辨的觀察,還能進行高通量的元素分析,由于采用日本電子制造的100mm2大面積硅漂移檢測器(Silicon Drift Detector:SDD)*1,能夠獲得0.95sr 的大固體角,可以進行高速高效的X射線分析并且不犧牲電子顯微鏡的功能。此外,為了能在短時間內獲得準確的分析結果,JEM-2800能根據樣品及分析方法選擇zei佳的束班直徑。
*1 : 選配
支持數據的集成管理和報告書的生成
為響應眾多客戶的需求,JEM-2800采用總體數據管理系統,能夠迅速生成分析結果報告。JEM-2800獲取的圖像和分析數據通過LAN(局域網)會自動傳送到數據集成管理軟件(Image Center*2)。此外,從PC客戶終端訪問,可以高效率執行測長(使用Image Excite*2)及粒徑分析(使用Region Gauge Center*2),通過數據整理軟件(Image Import※2)能簡便地生成報告書。
*2 : 日本株式會社SYSTEM IN FRONTIER 制造
分辨率 | |
---|---|
二次電子像(邊至邊) | ≦0.5nm(加速電壓200kV) ≦1.0nm(加速電壓100kV) |
掃描透射像 | 0.2nm(加速電壓200kV) 0.31nm(加速電壓100kV) |
透射像(晶格分辨率) | 0.1nm(加速電壓200kV) 0.2nm(加速電壓100kV) |
倍率(24英寸寬屏液晶顯示器) | |
二次電子像 | X100~X150,000,000 |
掃描透射像 | X100~X150,000,000 |
透射像 | X500~X20,000,000 |
電子槍 | |
電子槍 | 肖特基場發射電子槍 |
加速電壓 | 200kV、100kV |
[樣品系統] | |
樣品臺 | 全對中側插式測角樣品臺 |
樣品尺寸 | 3mmΦ |
zei大傾斜角 | X : ±20° Y : ±25° 使用(雙傾樣品桿時) |
移動范圍 | X,Y: ±1mm Z: ±0.2mm(馬達驅動/壓電驅動) |
[選配件] | |
主要可安裝的選配件 | 能譜儀(EDS) 電子能量損失譜儀(EELS) CCD數碼相機系統 TEM/STEM三維斷層掃描系統 |
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