μEDX系列能量色散型微區X射線熒光光譜儀

μEDX系列X射線熒光光譜儀可以高靈敏度地分析很小的樣品。對于需要高分辨率同時高X射線強度才能進行測定的電子部件、電路板以及材料中的異物等微小局部的測定，本裝置可進行高靈敏度、高分辨率，分析直徑zei小至50μm的分析。

• 采用島津獨創的Ｘ射線聚光透鏡[集束毛細管透鏡]，X射線只照射樣品的50μm直徑微小領域，實現高靈敏度、高精度分析。

• 可以在大氣中進行從輕元素到重元素(Na～U：μEDX-1300；Al～U：μEDX-1200/ 1400)的分析。

• 配備雙CCD(高倍率、低倍率)攝像頭，可以在觀察樣品圖像的同時方便地決定分析位置，進行分析。

• 標準配備無標樣定量FP法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜FP法以及可以測定聚合物薄膜的背景基本參數（BG-FP）法。

• 作為微區Ｘ射線熒光光譜分析裝置，在世界上率先配備了5種1次Ｘ射線濾光片自動交換機構，可消除來自Ｘ射線管的特征Ｘ射線，提高信噪比。

• 配備多元素同時/自動掃描成圖功能。采用高速掃描成圖，在短時間內便可獲得圖像(μEDX-1200/1300)。追加透射觀察單元(選購)，也可進行透射Ｘ射線的同時測定。

• 配備電子冷卻式高計數率檢測器。無需液氮，可進行高精度分析。

        (μEDX-1400)

• 可輕松地進行電子材料/部件的鍍層膜厚測定、異物檢測、失效解析及成圖分析。

測量原理：X射線熒光光譜法

測量方式：能量色散

測量樣品類型：固體、液體或粉末

測定范圍： ¹³Al ~ ⁹²U（μEDX-1200型，μEDX-1400型）； ¹¹Na ~ ⁹²U（μEDX-1300型）

zei大樣品尺寸：寬200mm寬 × 300mm深 × 40mm 高

測量氣氛：大氣

X射線發生器

• X射線管：Rh靶

• 管電壓：5 kV ~ 50 kV

• 管電流：1 uA ~ 1000 μA

• 冷卻方式：空氣冷卻（帶風扇）

• X射線覆蓋方法：集束毛細管透鏡

• 照射直徑：約50 μm

• 暴露區域：標配10 mm 直徑（可在4種設置間自動切換：1 mm、3 mm、5 mm和10 mm直徑）

• 1次濾光片（主濾光片）：在5種1次濾光片間自動交換（Al, Ti, Ni, Zr, OUT）

檢測器（μEDX-1200型，μEDX-1300型）：

• 類型：Si（Li）半導體檢測器

• 液氮供應：僅在測量時需要

• 杜瓦瓶容量：3 L

• 氮氣消耗：約1 L/天

• 測量區域：30 mm²

檢測器（μEDX-1400型）：

• 類型：Si漂移半導體檢測器

• 冷卻方法：電子冷卻

• 液氮供應：不需要

• 測量區域：5 mm²

樣品腔：

• 測量氣氛：空氣

• 樣品觀察：CCD相機

傳輸圖像觀測單元（選項）

• 檢測器類型：閃爍計數器

樣品臺

• zei大：100 寬 × 100 深 × 40 高 mm

• zei大裝載重量：2 kg

• 工作距離：6.5 mm（μEDX-1200型，μEDX-1400型）；1.5 mm（μEDX-1300型)

樣品觀測單元

• CCD：雙CCD

• 倍率：可在低/高倍率間切換

• 聚焦：自動聚焦

數據處理硬件：主流計算機，彩色打印機，WindowsXP

軟件 

• 樣品觀測：可控熒光強度；視角轉換；實時調整觀測尺寸（RSSV）

• 定性分析：平滑；捕峰；自動鑒定/手動鑒定；峰適應

• 定量分析：校準曲線法、FP法、薄膜FP法、BG－FP法；包括基質校正和內標校正的校正功能；厚度計算模擬

• 圖像分析

        步進圖像，線分析
        高速圖像（μEDX-1200型，μEDX-1300型）
        全景（定性）圖像
        同時測定傳輸的圖像（*選配安裝傳輸圖像觀測單元）
        元素疊加
        選擇偽色彩，濃縮，鳥眼（bird's eye）或網格顯示
        濾光計算處理

• 生成報告：簡單報告（顯示圖像和分析結果）；總結報告（顯示圖像和多點分析結果）；表格（顯示統計結果）；生成控制圖和直方圖

• 匹配：四種匹配模式；根據成分和強度作圖

• 網絡功能：對分析完成和錯誤進行Email通知；分析結果的傳輸

• 維護功能：單元監視器：連續監視X射線輸出、計數率等；自動控制：X射線開/關周期操作；單元校正：自動校正能量和半峰寬

• 簡單操作軟件

• 定性分析：測定?解析軟件

• 定量分析：

• 匹配軟件：強度/容量

• 功能：自動校正功能（能量校正、半峰寬校正）

• 其它：系統狀態監控功能；分析結果列表功能；分析結果報告創建功能

安裝要求：

溫度：周圍溫度18℃~28℃

相對濕度：40％ ~ 70％

電源：100 ~ 120 VAC，6A，50/60 Hz；200 ~ 240 VAC，3A，50/60 Hz；接地

外部尺寸：

• 單元（寬×深×高 mm）：486×649×704

• 控制器（寬×深×高 mm）：215×490×464

重量：主單元約85 kg；控制器約15 kg