儀器儀表實驗室顯微鏡數顯系統的檢定

數顯系統的檢定

根據萬工顯檢定規程中的相關規定，需要檢定讀數裝置的示值誤差、讀數裝置的回程誤差和示值誤差。

(1)讀數裝置的示值誤差檢定

對數顯系統來說，讀數裝置的示值誤差就是數顯表的最小分辨率，即±0.5μm，無須檢定。

(2)讀數裝置的示值誤差的檢定(相當于磁柵尺的重復性)

光柵尺讀數裝置就其構造和原理來說是沒有回程誤差的，當然這需要很高的工藝水平做保證。

通過用0.1μm的電感測微儀反復測試，光柵尺讀數裝置的回程誤差最大不超過0.5μm。

(3)示值誤差的檢定(相當于磁柵尺的準確性)

用檢定極限誤差不大于0.5μm的玻璃刻度尺作為標準，按照規程規定的條件方法對縱、橫向分別進行檢定;若沒有玻璃刻度尺，可用萬工顯原有的刻度尺與光柵尺進行比較檢定，并用儀器原有的示值誤差進行修正，以確定光柵尺各被檢點的實際誤差，若有超差再用線性補償系統進行補償。