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  • 發布時間:2018-07-27 10:55 原文鏈接: 俄歇電子能譜分析是一種表面分析方法且空間分辨率高

    (1)大多數元素在50~1000eV能量范圍內都有產額較高的俄歇電子,它們的有效激發體積(空間分辨率)取決于入射電子束的束斑直徑和俄歇電子的發射深度。

    (2)能夠保持特征能量(沒有能量損失)而逸出表面的俄歇電子,發射深度僅限于表面以下大約2nm以內,約相當于表面幾個原子層,且發射(逸出)深度與俄歇電子的能量以及樣品材料有關。

    (3)在這樣淺的表層內逸出俄歇電子時,入射電子束的側向擴展幾乎尚未開始,故其空間分辨率直接由入射電子束的直徑決定。


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