電子能譜分析法是指采用單色光源（如X射線、紫外光）或電子束去照射樣品，使樣品中電子受到激發而發射出來，然后測量這些電子的產額（強度）對其能量的分布，從中獲得有關信息。
特點
1)除氫和氦元素之外，可以分析所有其他元素，能直接測定來自樣品的單個能級發射的光電子能量分布，直接得到電子能級結構的信息。
2)從能量范圍來看，電子能譜提供的信息可視為“原子指紋”，能測定原子價層電子和內層電子軌道，提供有關化學鍵方面的信息。而相鄰元素的同種能級的譜線相隔甚遠，相互干擾少，元素定性分析的標識性強。
3)電子能譜分析是一種無損傷分析。
4)電子能譜分析是一種高靈敏度超微量表面分析技術。分析所需試樣量約10-8g即可，絕對靈敏度可達10-18，樣品分析深度為2nm。
一、項目編號：招案2022-1675（地大編號：DDCG-20221054）二、項目名稱：中國地質大學企業信息（武漢）原位X射線光電子能譜分析系統采購項目三、中標信息供應商名稱：廣東省中科進出口有限公......
電子能譜分析法是指采用單色光源（如X射線、紫外光）或電子束去照射樣品，使樣品中電子受到激發而發射出來，然后測量這些電子的產額（強度）對其能量的分布，從中獲得有關信息。特點1)除氫和氦元素之外，可以分析......
激發而發射出來（這些自由電子帶有樣品表面信息），然后測量這些電子的產額（強度）對其能量的分布，從中獲得有關信息的一類分析方法，廣泛應用于材料表面分析技術。......
1）分析層薄，0～3nm。AES的采樣深度為1～2nm，比XPS（對無機物約2nm，對高聚物≤10nm）還要淺，更適合于表面元素定性和定量分析。（2）分析元素廣，除H和He外的所有元素，對輕元素敏感。......
（1）大多數元素在50~1000eV能量范圍內都有產額較高的俄歇電子，它們的有效激發體積（空間分辨率）取決于入射電子束的束斑直徑和俄歇電子的發射深度。（2）能夠保持特征能量（沒有能量損失）而逸出表面的......
俄歇電子的激發方式雖然有多種（如X射線、電子束等），但通常主要采用一次電子激發。因為電子便于產生高束流，容易聚焦和偏轉。分析依據：俄歇電子的能量具有特征值，其能量特征主要由原子的種類確定，只依賴于原子......
俄歇電子的產生和俄歇電子躍遷過程：一定能量的電子束轟擊固體樣品表面，將樣品內原子的內層電子擊出，使原子處于高能的激發態。外層電子躍遷到內層的電子空位，同時以兩種方式釋放能量：發射特征X射線；或引起另一......
橫向分辨率取決于入射束斑大小；俄歇電子來自淺層表面(電子平均自由程決定)，其信息深度為1.0-3.0nm；檢測極限可達10-3單原子層（可以有效的用來研究固體表面的化學吸附和化學反應）；并且其能譜的能......
元素的定性和半定量分析（相對精度30%）；元素的深度分布分析（Ar離子束進行樣品表面剝離）；元素的化學價態分析；界面分析......
利用環境掃描電鏡-X射線能譜儀(environmentalscanningelectronmicroscopeandenergydispersiveX-raymicroanalyser,ESEM-ED......