一、用途
光刻機是芯片制造的核心設備之一，按照用途可以分為好幾種：有用于生產芯片的光刻機；有用于封裝的光刻機；還有用于LED制造領域的投影光刻機。
用于生產芯片的光刻機是中國在半導體設備制造上最大的短板，國內晶圓廠所需的高端光刻機完全依賴進口，本次廈門企業從荷蘭進口的光刻機就是用于芯片生產的設備。
二、工作原理
在加工芯片的過程中，光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，經物鏡補償各種光學誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上，然后使用化學方法顯影，得到刻在硅片上的電路圖。
一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序。經過一次光刻的芯片可以繼續涂膠、曝光。越復雜的芯片，線路圖的層數越多，也需要更精密的曝光控制過程。
“正是有了無數個一絲不茍的攻關，才促成了我國首臺IC光刻機的問世。”5月10日，華中科技大學（以下簡稱華科大）“科學家精神進校園”系列活動新聞發布會上，中國工程院院士、華科大教授陳學東在回答《中國科學......
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科技的快速發展，現在已經是一個技術至上的時代，掌握核心技術就相當于在科技領域占據主導地位。因此芯片領域現在是這個時代的重要部分，芯片是電子技術的核心組織。近年來由于美國的打壓，我國勉強走上了自主研發芯......
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