在計算機、光電技術等的推動和支持下，光電直讀光譜儀分析憑借其操作簡單、準確度高、分析面廣、速度較快等優勢逐漸成為分析材料化學成分的主要方法。可是在具體實踐中，其易受儀器、環境、人為等干擾致使測量結果與材料實際成分不一致，或者多次測量結果不一致，因此研究其分析誤差并予以有效解決，以提高分析結果的準確性十分必要。
1、 光電直讀光譜儀分析的誤差分析
光電直讀光譜儀是指基于金屬試樣與電極之間發生的電弧或電火花放電，對其生成的輝線光譜予以光電測定，進而實現定量元素含量的分析方法。相對而言，其有著速度快、靈敏度高、便于操作、分析范圍廣、誤差小以及自動化程度高的顯著優勢，故冶金鑄造、金屬機械加工、建筑材料、石油化工等諸多領域均有所涉及。但光電直讀光譜儀分析在實際使用中，所得分析結果與元素真實含量可能存在一定的誤差，具體分析如下：
1.1 系統誤差分析
系統誤差即在試驗條件一定的情況下，因單個或若干個因素以一定的規律發生作用而引發的誤差，該值越小，分析結果就越正確。實踐分析，其與標準樣品與分析試樣不同的組織狀態、含有第三元素、光譜標樣自身誤差、氬氣不純、工作條件變化、未知譜線重疊、電源電壓、透鏡、鎢電極等諸多因素有關。但經發現誤差和找出原因后，可予以有效的校正或避免。
1.2 偶然誤差分析
偶然誤差是指因相關因素發生隨機波動而引發的可相互抵償且無規律的誤差，因其時大時小、時正時負，故其決定了分析結果的精密度。經驗表明，試樣成分組織結構和分布不均、厚度較薄或太薄、表面平整度差、存在氣孔或裂紋缺陷等均可能引發偶然誤差。雖然其不可能完全消除，但基于重點誤差分析改進方法，還是可以降低偶然誤差的。
此外，由人為操作失誤引發的誤差也時常發生，但無論出于何種原因，都必須將含有這一誤差的一組數據視為異常值進行舍棄處理。考慮到系統誤差和偶然誤差之和基本上決定了機械光電直讀光譜分析結果的正確度，故當上述兩種誤差均不存在或誤差很小時，可將精密度視為正確度。但既然存在分析誤差，便會對分析結果產生影響，所以還需我們采取措施控制誤差。
2、 光電直讀光譜儀分析的誤差控制
2.1 優化安裝條件
對于光電直讀光譜儀而言，其安裝質量與分析結果息息相關，故在使用該種分析方法時，必須優化其安裝條件。如室內溫度和相對濕度適宜分為控制在1O-3O℃ 和20 80%之間，且無冷凝，與腐蝕性化學氣體距離安全，以免因光電倍增管的信噪比和暗電流以及高壓元件放電漏電降低分析結果精確度；必須確保氬純度高于99.998%，并在氣路中設置凈化裝置，以免因其摻有氧、水蒸氣等物質破壞激發斑點，引發系統誤差； 為防止儀器分析靈敏度降低，必須將其真空度控制在0.05mmHg左右，特別是針對200nm以下波長的元素； 由于電源電壓變化易造成激發單元放電電壓不穩，故需使其處于15%±10%范圍內，以此提高儀器的分析精度。
2.2 做好準備工作
在正式使用光電直讀光譜儀分析材料成分和元素含量時，還應切實做好準備工作，以此盡可能降低系統誤差和偶然誤差的風險和隱患。具體包括隊真檢查輸入電壓、濾盒刻度、盒中水量是否合適；氬氣壓力是否為0.7MPa，以防因出現渦流影響測量結果的準確性；基于Spark Analyzer MX打開分析軟件后，必須穩定儀器1h且待藍色背景消失后考慮分析操作；必須激發樣品RH18用于判斷氬氣狀態，并對儀器進行標準化操作，以便及時更換氬氣、修正調整誤差，進而確保準確分析；盡量選擇組成與試樣接近且表面平整、成分均勻的標樣，嚴禁使用含量遠低于試樣的標樣，不然會加大分析誤差。
2.3 正確分析樣品
樣品選擇與分析結果有很大關系，故應在切割機、磨樣機的作用下生成形狀和大小適合火花架的試樣，以確保激發孔可被激發面密封，以及表面平整而清潔，磨樣紋路合理而無缺陷，并良好接觸火花架，使其溫度低于40℃，且無漏氣，以免出現較高的分析結果；待樣品制好并放至火花臺后，必須對其進行3次以上的激發，并注意傾聽聲音是否既平穩又不尖銳，為做到準確分析，需要選擇一個激發標樣作為測試標準用于繪制工作曲線，同時在完成掃描后及時清潔鎢電極，以防因間隙放電發生距離變化而影響測量結果；若需要更改基體，則必須徹底清潔火花臺，并配以更換電極、電極刷以及玻璃墊片，否則含量高的元素會干擾含量低的元素的分析結果。
2.4 強化維護保養
若在光電直讀光譜儀使用過程中予以到位的維護保養管理，既有助于分析準確性的保障和提高，也利于降低自身故障風險。因此建議根據實際情況，對其入光窗口、過濾盒用水、空氣過濾器、火花臺等加以定期檢查、清潔或更換；用于校準儀器以及繪制工作曲線的標樣不僅要使用存放科學規范，更要予以定期更換，以免因其標準參數發生改變而影響參考標準和分析結果；針對透鏡內外表面，必須及時清理附著的油蒸汽和金屬蒸汽，以此避免透過率的降低； 針對氳氣管道，必須及時處理其與電極架之間存在的濁漏和污染物問題，以免引入系統誤差等。
3、 提高直讀光譜儀的準確性措施
3.1 要做好標準化工作
為了調節因電子元件、光源、分光系統等因素的變化而引起的工作曲線的漂移，分析試樣前應對工作曲線做好標準化。
3.2 合理使用標樣或控樣
為了解決標準化樣品與本廠試樣結構狀態等不同而造成的差異及第三元素的影響，應采用與待側試樣成分相近、組織結構相同的標樣或控樣來校正。
3.3 分析標樣或控樣與分析試樣時的條件必須一致，方能保證試樣分析數據準確可靠
這些條件包括：分析參數、分析面的平整度、光潔度、氬氣的流量和純度，溫度濕度，分析間隙和火花臺狀況等。
3.4 儀器維護非常重要
平時工作時要留心觀察，當聽到聲音不正常或看到不正常現象，要立刻停止分析，及時檢查、判斷、處理，儀器正常后方可進行分析工作，切不可讓儀器帶病工作。
4、結束語
總之，光電直讀光譜儀分析的諸多優勢是不容置疑的，其難以避免的分析誤差也是不容忽視的，故當務之急便是準確解讀其誤差的成因和來源，在此基礎上尋求切實有效的控制方法，以此規避或最大限度的減小誤差，提高材料成分分析結果的準確性。