小角X射線散射技術被廣泛用來測定納米粉末的粒度分布，其粒度分析結果所反映的既非晶粒亦非團粒，而是一次顆粒的尺寸。在測定中參與散射的顆粒數一般高達數億個，因此，在統計上有充分的代表性。
通過對Guinier曲線低角區域線性部分的擬合，得到試樣中氧化鋁顆粒的旋轉半徑約為6nm，表明在無機納米雜化薄膜體系中，納米顆粒未發生團聚現象。通過觀察Porod曲線發現，隨散射矢量h值的增大，曲線趨于水平直線。根據小角X射線散射理論中的Porod定律可知，該復合薄膜中納米顆粒與基體間的界面明確，說明薄膜中的PI分子鏈與無機納米顆粒間并未發生相互擴散、滲透以及纏結等現象。無機納米顆粒與有機分子鏈主要是通過化學鍵錨定在一起，此界面結構與經典的有機與無機相結合的化學鍵理論相一致。