成分分析按照分析對象和要求可以分為 微量樣品分析 和 痕量成分分析 兩種類型。 按照分析的目的不同，又分為體相元素成分分析、表面成分分析和微區成分分析等方法。
體相元素成分分析是指體相元素組成及其雜質成分的分析，其方法包括原子吸收、原子發射ICP、質譜以及X射線熒光與X射線衍射分析方法；其中前三種分析方法需要對樣品進行溶解后再進行測定，因此屬于破壞性樣品分析方法；而X射線熒光與衍射分析方法可以直接對固體樣品進行測定因此又稱為非破壞性元素分析方法。
表面與微區成份分析
X射線光電子能譜（X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS）；（10納米，表面）
俄歇電子能譜（Auger electron spectroscopy，AES）；（6nm，表面）
二次離子質譜（Secondary Ion Mass Spectrometry, SIMS）；（微米，表面）
電子探針分析方法；（0.5微米，體相）
電鏡的能譜分析；（1微米，體相）
電鏡的電子能量損失譜分析；（0.5nm）
為達此目的，成分分析按照分析手段不同又分為光譜分析、質譜分析和能譜分析。
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