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  • 發布時間:2018-04-08 14:27 原文鏈接: 掃描探針顯微鏡(SPM)結構

    1、探針:STM金屬探針,AFM微懸臂、光電二極臂

    2、機械控制系統:壓電掃描器、粗調定位裝置、振動隔離系統

    3、電子學控制系統:電子學線路、接口,控制軟件


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