目的是獲得深度-成分分布曲線或深度方向元素的化學態變化情況。
常用離子濺射法：用惰性氣體離子束轟擊樣品，逐層剝離樣品表面，然后對表面進行分析。
目的是獲得深度-成分分布曲線或深度方向元素的化學態變化情況。常用離子濺射法：用惰性氣體離子束轟擊樣品，逐層剝離樣品表面，然后對表面進行分析。......
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