牛津儀器：背散射電子及X射線（BEX）成像

　　什么是BEX？

　　BEX是集背射電子和X射線成像于一體的新型微區分析技術，可以在SEM下同步、高效采集背散射電子圖像和元素面分布圖。

　　BEX技術能帶來哪些新體驗？

　　此前，基于SEM的顯微分析大多是靜態的、逐步進行的，并且高度依賴用戶經驗。操作人員通常根據SE/BSE灰度圖中的形貌或原子序數襯度進行樣品導航，并借助EDS完成精細的成分分析。如果當前區域沒有感興趣的特征，則需要重復以上繁瑣步驟。

　　在BEX技術的支持下，即使樣品臺移動過程中也能實時呈現試樣的形貌、晶體取向、原子序數和元素分布等信息，讓復雜樣品分析極盡簡便迅捷之能。只需稍作停留即可獲得高分辨、高質量的元素面分布圖，無論是開展更精細的分析還是繼續樣品導航都如絲般順滑。

　　Unity BEX成像探測器

　　為什么BEX技術正在重新定義成像標準？

　　Unity BEX成像系統提供了快速、準確、高分辨率的彩色成像技術解決方案。Unity探測器融背散射電子與X射線傳感器于一體，整體位于極靴正下方。這種獨特的設計使BSE及X射線成像得以同步進行，自此BEX成像誕生了。BEX技術消除了常規EDS分析中令人困擾的陰影效應，為成像質量提供了有力保障。

　　高通量、高質量成像

　　Unity探測器的問世為現有成像系統設定了全新的評價標準。在實際測試中，Unity使SEM的生產力放大了高達100倍。對于任意類型的分析，Unity都能夠顯著提高分析效率和設備使用率。此外，已購置的SEM均可升級為BEX成像系統，以提高生產力、靈活性、或延長設備的使用壽命。