在基體和薄膜原子相互作用特別強的情況下,才容易出現層核生長型。首先在基片表面生長1-2層單原子層,這種二維結構強烈地受基片晶格的影響,晶格常數有較大的畸變。然后再在這原子層上吸附入射原子,并以核生長方式生成小島,最終形成薄膜。