目前,對單晶硅爐等精密機械的水垢清洗均采用單一的清洗液來進行,但由于上述機械結構較為復雜且包含了多種不同材質的零件,這樣造成采用單一的清洗液清洗時無法徹底清除水垢,也可能導致部分材質被腐蝕。無法徹底清洗水垢會增加上述機械的使用成本。而腐蝕部分材質時可能產生巨大的安全隱患。
針對這一難題,中科院西安光學精密機械研究所瞬態室郭昭龍、趙衛、孫傳東等科研人員通過研究發明了一種用于清洗不銹鋼機械上水垢的酸液。該酸液解決了現有清洗液無法徹底清洗不銹鋼物體上水垢或清洗時可能造成不銹鋼機械中其他材質損壞的問題,主要用于單晶硅爐、板式散射器等精密機械的水垢清洗。
該發明已申請國家發明ZL并于近期獲得授權,ZL號為“ZL201010574299.3”。
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