超純水（Ultrapure water）又稱UP水，是指電阻率達到18 MΩ*cm（25℃）的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。可以用于超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術的制備過程[1] 。
中文名
超純水
外文名
Ultrapure water
別 名
UP水
定 義
電阻率達到18MΩ*cm（25℃）的水
特 點
水中幾乎沒有雜質
應 用
器皿清洗、光刻掩模版制備等
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